Analisi strutturale multifisica di una microtrave cava

In the following paper a sensor belonging to the MEMS family is described. Once the sensor has been presented in its entirety, various types of analysis on the structure are carried out using ANSYS after presenting the finite element analysis. Subsequently, under the same conditions, this structure is analyzed through the analytical method and an attempt is made to elaborate the model that can represent the real phenomenon. Finally, the results acquired by the two methods are compared, drawing conclusions on the usability of the same.

Nel presente elaborato si descrive un sensore appartenente alla famiglia dei MEMS. Una volta presentato il sensore nella sua interezza si effettuano, dopo aver presentato l’analisi agli elementi finiti, diversi tipi di analisi sulla struttura tramite ANSYS. In seguito, a parità di condizioni si analizza tale struttura attraverso il metodo analitico e si cerca di elaborare il modello che possa rappresentare il fenomeno reale. Infine, si confrontano i risultati acquisiti dai due metodi traendo delle conclusioni sull’utilizzabilità degli stessi.